CIESコンソーシアム
国家プロジェクトNEDO 中堅・中小企業への橋渡し研究開発促進事業
中堅・中小企業への橋渡し研究開発促進事業「MRAMの開発及び出荷テストに用いる、磁気特性・電気特性評価装置の開発
遠藤 哲郎教授
本テーマでは、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の「中堅・中小企業への橋渡し研究開発促進事業」において、「中堅・中小企業への橋渡し研究開発促進事業「MRAMの開発及び出荷テストに用いる、磁気特性・電気特性評価装置の開発」（東栄科学産業、橋渡し研究機関代表者：遠藤哲郎）に取り組んでいます。近年、爆発的な電気エネルギーの増大が大きな社会問題となっており、この電力消費を飛躍的に削減させる切り札としてMRAMが期待されています。このMRAMを研究開発フェーズから量産フェーズに移行する為には、その出荷テスティング装置が不可欠です。本事業では、磁場環境下におけるMRAMの出荷テストが可能となる一連の電磁気特性評価装置システム(300mmウェハ対応)を開発し、MRAMの普及に資することを目標としています。
本プロジェクトで開発中の磁場印加機構付フルオートプローバ（左）とセミオートプローバー（右）
